晶圓製造廠新製程導入階段產能分配模式之構建(I) - 國立交通 ...

標題: 晶圓製造廠新製程導入階段產能分配模式之構建(I) Capacity Planning during Production Ramp-Up Stage for Wafer Fabrication. 作者: 許錫美 Skipnavigation 目前位置：國立陽明交通大學機構典藏 學術出版 研究計畫 標題: 晶圓製造廠新製程導入階段產能分配模式之構建(I)CapacityPlanningduringProductionRamp-UpStageforWaferFabrication 作者: 許錫美HSUHSI-MEI國立交通大學工業工程與管理學系（所） 關鍵字: 新製程導入;良率學習;產能分配;晶圓製造;動態規劃。

;productionramp-up;yieldlearning;capacityplanning;dynamicprogramming 公開日期: 2011 摘要: 當新製程開始上線量產時，因為生產知識不足，良率偏低且不穩定，管理者僅分配 部分產能做新製程生產。

當新製程生產的良率達到某一水準且穩定的狀態後，全部產能 皆由新製程生產。

從新製程開始上線量產至全部產能皆由新製程生產的期間稱之為 productionramp-up。

在新製程的ramp-up階段，顧客訂單仍須依賴良率穩定的舊製程生 產，因此在ramp-up階段是由新、舊製程共用產能。

為了快速將產線轉成新製程生產，而 大量的投新製程的料片，學習各型機台最適參數(recipe)，此時因新製程的生產知識不 足，製程良率偏低且不穩定，產出大量的不良品，造成浪費、客戶訂單無法準時交貨及 客戶流失的窘境。

反之，若為滿足客戶需求，而大量的投舊製程的料片，因新製程的投 料片較少，生產線上的學習較緩，將延誤新製程導入的時機，失去市場競增優勢。

生管 人員在ramp-up的各時段，在新、舊製程的良率、產出、成本、產能及客戶訂單的考量 下，很難決定如何分配產能給新、舊製程。

目前業界僅靠生管人員的直接判斷，欠缺一 套分析管理機制協助他們分析決策的良莠。

如何訂定ramp-up的各時段新、舊製程最適產 能分配，及新製程批量中急批的數量，以達成降低成本、增加收益、在ramp-up結束時 新製程的良率可達到給定的水準，及滿足ramp-up階段客戶需求的目標是一重要的議 題。

本計畫之目的為協助晶圓製造廠，構建新製程導入階段，新舊製程產能分配決策模 式及評估產能分配的績效。

Forprovidingacompetitivesellingprice,semiconductormanufacturescontinuously improvetheirproductionprocesstoreducemanufacturingcost.Forrapidproductlifecycle andexpensivedevelopmentcost,anewproductionprocessisfrequentlyintroducedtothe productionlinewhenitsproductionprocessknowledgeisillunderstood.Duringthistime,the yieldofthenewproductionprocessisverylowandunstable.Therateoframp-upis influencedbyyieldlearningofnewproductionprocess.Yieldinramp-upstageisgenerally learnedbytwofactors.Oneislearningbydoing,theotherislearningbyexperimentation. Thesetwofactorsaregenerallydeterminedbythenumbersofreleasenewproductionprocess lots.Shouldwereleasealargenumberofnewproductionprocesslotstolearnproduction processknowledgeforshorteningramp-uptime,orshouldwekeepmajorpartofcapacityfor currentproductionprocessformeetingcustomerdemands?Duringtheramp-upperiodhowto allocatecapacitytomeetthetargetyieldlevelattheendoframp-upstageandcustomer demandsisanimportantissueinwaferfabricationplant.Inthisstudywewilldevelopa capacityallocationmodelforcurrentandnewproductionprocessduringramp-upstageto maximumprofit. 官方說明文件#: NSC100-2221-E009-062 URI: http://hdl.handle.net/11536/99657https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=2333498&docId=366694 顯示於類別：研究計畫 IR@NYCUCrossRefRamp-up階段新舊製程混製生產時的投料批量決策模式/陳俊穎;Chen,Chun-Ying;許錫美;Hsu,Hsi-Mei應用粒子群演算法求解最適ramp-up區間及新舊製程之產能分配問題/林博文;Lin,Bo-Wen;許錫美;洪暉智;Hsu,Hsi-Mei新製程導入階段新舊製程產能分配模式之構建/洪正哲;Hung,Cheng-Che;許錫美;Hsu,Hsi-Mei新製程導入階段投料決策模式之構建/陳芝俞;許錫美新興晶元代工廠生產規劃與排程系統之構建/蘇昱彰;Su,Yu-Chang;鍾淑馨;Chung,Shu-Hsing考量晶圓製造廠混合生產環境整體績效之生產活動控制方法/王柏昌;Bo-ChangWang;李榮貴;張盛鴻;Rong-KweiLi半導體製造廠生產管理體系建立之研究---晶圓製造廠提拉式生產控制系統之研究/沙永傑;SHAYUNG-JYE(D.Y.Loading...