CN104422406A - 平面度量测系统及方法- Google Patents

目前常用來量測精密(岩石)平板平面度的方式，一般可區分為︰整個工作面的平面. 度誤差與局部平面度誤差兩種，為求簡化平面度之計算，平行於工作面之量測線上 ...

2b, 在上方和底部樣品表面之平坦度良好之下，若載台表面如圖示為理想載台平面，其載台平面是可以代表樣品底部(平面2)的平面來當為基準，能夠確實的評估出平面 ...

真直度、真平度、垂直度量測. 教授：范 ... 因水平儀測值為角度，故需轉換成真直度，其量測原理如圖示。 ... 為量測真直度延伸，真平度之量測乃將待測平面作數.

工作台平面度檢驗方法 文◇ 精密機械研究發展中心黃智達 工具機平面度是幾何精度的關鍵，一般使用水平儀或視準儀進行量測。本文首先針對 ...

干涉法测量平面度误差，是把平晶放在它所能覆盖的整个被测平面上，用平晶工. 作面体现理想平面，根据测量时出现的干涉条纹形状和数目，由 ...