PL图谱分辨仪| イーグローバレッジ株式会社

PL图谱分辨仪. 标准配置. LED╱LD生产用光致发光及外延层厚度测量系统（适用于2、3、4、6英寸外延片）. PL图谱分辨仪. 技术参数表 ... HOME 经营产品一览 Manufacturingandtestingequipment&parts PL图谱分辨仪 Manufacturingandinspectionequipment PL图谱分辨仪 Manufacturingandinspectionequipment PL图谱分辨仪 标准配置 LED╱LD生产用光致发光及外延层厚度测量系统（适用于2、3、4、6英寸外延片） 技术参数表 主机规格 基本型号YWAFER-GS6YWAFER-GS6-RTYWAFER-GS6-RYWAFER-GS6-PL 光学可测范围及灵敏度型号一览 UVVIS：280～850nm VISNIR：350～1030nm UVNIR：200～1100nm NIR：900～1600nm(适用近红外线的冷却InGaAs检波器) 540NIR：540～1100nm(红色高灵敏性) UVNIR-HISENS：200～1100nm(紫外线高灵敏性) 载片尺寸 2、3、4、6英寸 GS6-RDHLD：1/4截断外延片托盘（选配） GS6-2.5HLD：2.5英寸外延片托盘（选配） GS6-2x3HLD：2英寸外延片×3配套托盘（选配） 外延片传送方式 手动 映像间隔 0.04mm～(0.1mm精度) 透射测量 测量项目 平均反射率外延层厚度（按GaN外延层厚度换算） 不可使用 精度╱可重复性 1%以内（0.5～50µm的GaN外延层情况下）╱10nm以内 不可使用 反射测量 测量项目 不可使用 平均反射率 外延层厚度（按GaN外延层厚度换算） 表面粗糙度/分散 DBR(分布布拉格反射镜)特性 不可使用 精度╱可重复性 不可使用 1%以内（0.5～50µm的GaN外延层情况下）╱10nm以内 不可使用 光致发光（PL）测量 测量项目 峰值波长╱相对积分强度╱相对波峰强度╱半值宽（FWHM）╱主波长（CIE波长） 波长分辨率 ～0.3nm（但在UVNIR-HISENS为～0.7nm，NIR为～2.0nm） 光强精度 3%（相对波峰峰强╱相对积分强度•YWafer强度校正功能使用时） 峰值波长反复精度 <1nm（峰值波长╱半值高） 最小半高宽 –1.5nm PL激起激光种类（最大4台） 266nm、325nm（使用外置光纤）、375nm、405nm、532nm其它可协商 控制单元 接口 PC-basedUSB╱数码I/O 运行环境╱语言 搭载MicrosoftWindowsTMXP的PC╱日语或英语（用户选择） 其它选配项 GS-SPCFLT:光衰减及波长滤波器控制 GS-LASFLT:激光强度滤波器控制 GS-CUSTHLD:用户样品托盘 GS-TURBOSCAN:高速扫描（仅测PL） 软件 版本 YWaferControllerv3.06 程序语言 多线程VisualC++ 操作模式 操作员、工程师、维护 特点： 清除了内部干涉影响，具有高度再现性的光谱分析。

性能 每张外延片的处理时间 手动装片╱卸片 -20sec(依赖于操作熟练程度) 标准值（测量值校正用）测量 <4sec 参考：测量2英寸外延片时（min：sec） 通常高速（选配） 0.5mm间隔（测量7429点）7:553:26 1.0mm间隔（测量1868点）2:341:02 2.0mm间隔（测量468点）0:510:31 操作规范（主机） 运行、设置环境 场所 无尘室（1000～10000级）内 温度 15–35℃ 湿度 <85％RH(要求不结露) 尺寸 纵向540×横向640×高度300mm 重量 40kg 输入电压 AC100～240V50/60Hz 消耗电力 120W以下 OtherManufacturingandtestingequipment&partsproducts YSystemsPLmapper English 中文 AlphaxLDtestingandsortingsystem English 中文 OriginElectriccapwelder English 中文 FourTechnosdiebonder English 中文 FourTechnoswirebonder English 中文 AlphaxLDtemperaturecharacteristictestingsystem English 中文 FTDalignmentandweldingsystem English 中文 ForinquiriesaboutManufacturingandtestingequipment&parts Forinquiriesaboutourproductsandbusinessnegotiations Contactbyform Contactbyphone +81-(0)3-6412-6032 数据存储产品 VIEWMORE ⼯业嵌⼊式产品 VIEWMORE 制造业和检测设备 VIEWMORE ⼯业设备/海外业务⽀持 VIEWMORE